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12寸晶圓顯影機(jī)

    UNIXX DB30 型晶圓顯影機(jī)是一款針對(duì)12寸及以下尺寸晶圓的半自動(dòng)系統(tǒng),系統(tǒng)可集成顯影,清洗,干燥等模塊,同時(shí)可用于方片顯影,最大尺寸230mm*230mm。

    更新時(shí)間:2022-11-25 17:19:14
  1. 詳細(xì)信息

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

 

UNIXX DB30 型晶圓顯影機(jī)是一款針對(duì)12寸及以下尺寸晶圓的半自動(dòng)系統(tǒng),系統(tǒng)可集成顯影,清洗,干燥等模塊,同時(shí)可用于方片顯影,最大尺寸230mm*230mm。

 

n產(chǎn)品特色

 

÷ 適用先進(jìn)的顯影、清洗和干燥工藝

÷ 圓形晶圓最大可達(dá) ?300 

÷ 方形襯底最大可達(dá) 230 x 230 

÷ 防濺環(huán)自動(dòng)升降

÷ 具有 BSR 背部清洗功能

÷ 配置低接觸離心力卡盤(pán)

÷ 可提供全自動(dòng)系統(tǒng)

÷ 手動(dòng)裝/

÷ 適用所有半導(dǎo)體材料,如硅襯底、玻璃襯底、陶瓷襯底

÷  1x 輸送臂,最多 6 條管路

÷ 不同類(lèi)型的噴嘴

÷ 通過(guò)壓力罐或泵系統(tǒng)供應(yīng)化學(xué)液

÷ 具有擺動(dòng)效果的旋轉(zhuǎn)電機(jī)

÷ 不同化學(xué)液分離排放(1、 3 向分離)

 

n技術(shù)數(shù)據(jù)

 

÷ 襯底尺寸最大可達(dá) ?200 mm   150 x 150 mm 

÷ 電機(jī)轉(zhuǎn)速最大 10.000 rpm,步長(zhǎng) 1 rpm

÷ 電機(jī)加速最大 40.000 rpm/sec,步長(zhǎng) 1 rpm/sec 

÷  步進(jìn)時(shí)間: 1  999.9 秒,步長(zhǎng) 0.1 

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