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微電子

發(fā)表時(shí)間:2023-06-01      點(diǎn)擊次數(shù):309

  在微電子制造領(lǐng)域,等離子清洗機(jī)被廣泛應(yīng)用于多個(gè)環(huán)節(jié)。例如,在晶圓制造過(guò)程中,等離子清洗可以有效去除光刻膠殘留和金屬雜質(zhì),提高芯片的電性能和可靠性;在封裝測(cè)試階段,等離子清洗可以去除引線框架和封裝材料表面的氧化物和污染物,提高封裝的密封性和穩(wěn)定性。此外,在MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))和納米技術(shù)等前沿領(lǐng)域,等離子清洗技術(shù)也發(fā)揮著重要作用。

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